半导体制造是一个对温度极度敏感的工艺过程,微小的温度波动都可能引起工艺结果的显著偏差,工艺冷却水在其中扮演着不可或缺的角色。

EK工业空调凭借扎实的技术优势与定制化解决方案,成功为河南某半导体工艺冷却项目配置三台HEAD云智慧高效集成冷站,以“压缩机制冷+自然冷却”双模自动切换技术,在保障15~20℃工艺冷冻水稳定输出的同时,实现全年节能率约30%,为客户年节约电费28.7万元。
项目挑战
该项目为河南某半导体企业工艺冷却配套工程,要求全年提供15~20℃冷冻水,保障半导体产线核心设备散热。传统方案需全年开启压缩机制冷,即便在秋冬季节室外气温已低于冷冻水设定温度时,压缩机仍须满负荷运行,能耗浪费严重。
针对半导体工艺冷却“全年制冷、低温出水”的特殊工况,如何充分利用室外自然冷源,在保障水温精度的前提下最大限度降低压缩机运行能耗,成为方案设计的核心挑战。
EK节能方案
EK技术团队经过深入勘察与工况研判,为客户配置三台HEAD云智慧高效集成冷站为核心的工艺冷却解决方案,带自然冷却功能。项目具有以下亮点:
全年综合能效高达9.4;
用户工况:冷冻供回水15/20℃,制冷量1197kW;
自然冷工况:湿球温度6℃,冷冻供回水18/23℃,制冷量1233kW;
双模自动切换:环境湿球温度≥6℃时,为压缩机制冷模式;当湿球温度<6℃时,机组自动切换为自然冷运行模式,无需人为干涉。

与传统制冷方案对比,采用EK节能方案,全年综合节能率达30%。按0.7元/kWh工业电价计算,年节约电费达28.7万元,为客户带来可观的直接经济收益。
HEAD云智慧高效集成冷站

产品特点:
分布式部署:室外近区安装,缩短输送,节省占地50%;
快速交付:40天出厂,2天调试,工期减60%;
智能调控:可配置EK-AIoT工业物联网能源优化平台,自适应寻优,能效提升10~15%;
静音环保:噪音最低65dB(A),防水防火,严苛环境适用;
责任归一:一体化吊装运输,整机质保。
应用领域:
广泛应用于电力电子、生物医药、医疗卫生、科研教育、轨道交通、新能源行业、数据中心等众多大中型项目。无需专用机房、具备室外安装空间、有集中冷源需求及节能高效运维需求的场景。
EK-AIoT工业物联网能源优化平台

这是EK工业空调(能优物联)自主研发的一套集智能控制、智慧运维,并与环控场景、工业4.0应用场景深度结合的工业物联网智能化管控平台,是以数据智能为核心驱动,对各应用场景全生命周期进行云端价值赋能,旨在提供“云+边”端智能控制、远程运维、线上协同、节能增效等端到端一体式解决方案,充分发掘应用场景节能价值和管理价值。
一直以来,EK工业空调始终坚持以技术创新为驱动、以节能环保为导向,持续推动产品与解决方案的迭代升级,为各行业提供高效、低碳、智能的中央空调系统。本项目是EK工业空调在半导体工艺冷却领域的又一成功实践。
未来,EK工业空调将持续推进技术创新,继续坚持“工程产品化、数智化运维、节能低碳”三大战略,为更多行业提供高效、可靠、绿色的温控解决方案。



