汉钟精机针对大腔体抽空需求，隆重推出PDH系列干式螺杆真空泵。采用创新齿形和负载调节机构设计，PDH系列以其高效、稳定、节能的特性，成为大腔体抽空的理想选择。通过不同的冷却方式、防腐涂层和密封结构，PDH系列可广泛应用于Load lock至严苛工艺制程。
产品特点
1、转子结构
采用新型变螺距转子结构，实现卓越的压缩效率和稳定的气体传输。
特殊螺杆设计，确保低温高效运行，降低能耗，提升极限真空度，减少维护成本。
2、负载调节机构
创新的负载调节机构设计，快速调整压力或流量，减轻主泵负荷。
作为安全措施，主泵故障时保持系统基本运行，减少停机时间。
提高系统可靠性和灵活性，适应多变工作条件。
3、电气控制系统
配备专用控制系统，多功能触控彩屏，支持多语言。
具备积热电驿保护、故障输出、过载保护、温度保护、流量控制、远程切换等功能。
标准RS485通讯，可实现本地、远程监控，多机联控。
性能参数
应用领域
半导体、面板、新能源
光伏、锂电、镀膜coating
干燥处理、航空航天
