我国的半导体发展已到了至关重要阶段，上海汉钟生产的真空泵为了能在半导体事业上献出一份力量，经过多年的研究开发，特推出应用于半导体产业的专用型号真空泵。
产品介绍
PMF系列、iPM系列和iPH系列，半导体专用干式真空泵
可满足芯片制造环节的Load Lock、Metrology、PVD、Ashing、ETCH、CVD、ALD等工艺需求，并得到了众多终端FAB厂和半导体设备商的好评。
PMF系列，专用于半导体干净制程
如Load Lock、Metrology。此系列机型以体积小巧、安装方便、节能效果为显著特点。其运行稳定性让使用者放心；高性价比更是得到了很多新老客户追捧和赞赏。
iPM系列，专用于半导体中度严苛制程
包括Ashing、Oxide Etch、Si Etch。此系列产品同样以体积小巧、安装方便、节能效果好、运行稳定等显著特点得到客户的高度认可。
iPH系列，专用于半导体重度严苛制程
包括Metal Etch、Implant、SACVD、MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD等工艺。独特的泵体冷却均匀和N2加热恒温系统设计，可避免大面积制程物沉积在泵体内，可大大延长此产品的使用寿命和保养周期。同时，此系列产品也配备了耐防腐、耐粘液、防粉尘等专用涂层，能更好地应对并解决严苛制程工艺中粉尘多、强腐蚀等问题，让真空泵能长期稳定的运行。真正做到了让客户买的放心，用的安心。
随着各系列产品在国内半导体产业的广泛应用，已做到长期无返修、保养周期长，减少了客户端真空泵产品的故障频率，能更好的提升客户的产线效率和产能。相信HANBELL真空泵产品一定是未来半导体行业的明星产品。
