“芯”动的选择申菱MAU机组

实现芯片产线高精度温湿度管控

前言

芯片制造中，温湿度与洁净度直接影响产品良率。MAU机组作为半导体洁净室核心设备，为产线提供“第一道洁净空气”。申菱环境凭借二十余年技术积淀，以MAU为核心，为芯片行业打造高精度、高可靠的环境调控解决方案。

01 MAU与AHU同为“空调”，使命不同

在半导体厂房中，MAU与AHU虽同属空气处理设备，但功能定位与结构设计有天壤之别。MAU负责把室外新风处理成“合格的空气”送入室内；AHU负责把室内空气循环处理成“合格的空气”送回室内。两者分工不同，共同保障芯片产线的温湿度、洁净度与正压稳定。

半导体行业专用MAU机组需要具备高强度、低漏风、优异保温防冷桥的箱体结构，以及多层物理过滤+化学过滤的深度净化能力，才能将室外空气处理至符合芯片产线要求的“超净”状态。

02 申菱MAU三大核心优势，护航芯片产线

01超大机组定制能力

超高风压与模块化灵活适配

针对芯片厂房大规模、高严苛的新风需求，申菱MAU机组具备极强的定制能力。机组最大单机风量达30万m³/h，采用高压一体发泡高强度箱体，可在±3000Pa风压下稳定运行。同时采用模数化设计，提供346+186种截面尺寸与33种功能段灵活组合，高低配置任意选择。针对防腐、防爆、恒温恒湿等场景，提供专业化“量体裁衣”的解决方案。

02EC风机加持节能与运维双效提升

申菱MAU搭载高效EC风机，较传统AC风机节能30%~50%。支持无级调速，精准匹配需求；直联结构无皮带损耗，全生命周期免维护。风机模块化设计，单台故障不影响系统运行，保障芯片产线连续生产。

03 深入半导体电子产业链获行业头部客户认可

申菱MAU机组的技术可靠性在半导体及电子相关产业链中已获得实际验证。申菱工业空调领域已服务于富士康、三星电子、特斯拉等电子及精密制造头部客户的工业项目。

针对半导体行业“高能耗、低效率、管理难度大”等核心痛点，申菱先后与多个业内电子半导体芯片洁净厂房领域的专业设计机构和总承包单位开展深度技术交流，同时提出高效节能系统的策略并建立了长期合作关系。

在行业标准层面，申菱是洁净手术室用空气调节机组、全新风除湿机的负责起草单位，也是计算机和数据处理机房用单元式空气调节机的主要起草单位，技术实力获行业权威认可。

结语

针对芯片、半导体、电子制造行业的差异化工况，申菱不只是输出单机设备，而是依托完整的技术体系，实现产品与行业解决方案深度融合，覆盖前期方案设计、定制化制造、现场调试、全生命周期运维的全链条能力。从用能规划到深化设计再到设备定制最后智慧总控与智能运维，申菱为半导体客户提供初投资更低、长期节能收益显著的全周期服务。

当每一颗芯片的诞生都始于“芯”动的选择，申菱MAU机组正以扎实的技术功底，为半导体精密制造保驾护航。