SEMICON CHINA  

2025上海国际半导体展览会

时间：2025年3月26-28日

地址：上海新国际博览中心

英福康展位：N5号馆 5671

一年一度的半导体行业盛会——SEMICON CHINA进入开幕倒计时！英福康也已准备好带您开启一场充满惊喜的“未来智能工厂检测技术探秘之旅”！今天，官微君“小福”将化身专属导游，奉上展台超全攻略，带您一起提前解锁现场精彩！

第一站：CDG系列真空计+清洁组件

打卡指南：精准掌控，开启半导体制造“真空新净界”

第一站，我们来到“真空世界”！在这里，CDG系列陶瓷电容式真空计是绝对的明星。它们就像一位位“真空守护者”，以极耐腐蚀的超纯陶瓷材料传感器，超高精度和稳定性，以及优异的使用寿命，确保半导体制造环境的洁净无瑕与长久可靠。

当然，能提供不同清洁等级的清洁真空组件，也是亮点多多。其采用了英福康自主研发的xParts ALD涂层技术，纯净、致密、无缺陷的特性，让其具备了卓越的耐受性，能够很好地应对腐蚀性强的半导体工艺。同时，其还能依据不同工艺要求，提供标准、清洁与涂层的三种清洁等级，在延长真空计使用寿命的同时，护航半导体产品品质。

第二站：UL3000 Fab 氦气检漏仪

打卡指南：纤巧灵活，让泄漏无处藏身

接下来，官微君将带您来到“泄漏侦探站”！专为半导体制造领域的专业要求而开发的UL3000 Fab 可移动式氦气检漏仪，拥有“纤细身材”和“超强大脑”，能够灵活穿梭于生产现场，快速定位泄漏点。无论是微小漏洞还是隐蔽问题，都逃不过它的“火眼金睛”！

第三站：Transpector CPX

打卡指南：严谨的“数据分析师”，每一步都精确无误

第三站，我们来到“气体实验室”！Transpector CPX 残余气体分析仪（RGA）是这里的主角，这位“数据分析师”，有着极快的测量速度和高探测灵敏度，能满足如ALD、CVD、PVD等半导体工艺的严苛要求，实时监测工艺气体成分，确保生产过程的每一步都精准无误。此外，相较上一代产品，其不仅系统体积减小了30%，能够更轻松地集成在产线内，还通过行业领先的抽气系统和温控加热组件简化了系统复杂度，让操作更加简便。

第四站：智能工具黄金组合

打卡指南：小工具，有大能量

接下来是UL系列检漏仪的“智能工具乐园”！这里有：

✔ SMART-Spray 氦气喷枪

无线、无管，无障碍，让氦气检漏更快、更准、更可靠。

✔ I·BOOST 软件

超真空模式下，节省高达50%的泄漏检测时间，效率提升快到飞起！

✔ SPRAY-CHECK 测试漏孔

快速验证检漏仪状态，确保每一台设备都“健康上岗”。

第五站：fabguard 智能过程监控软件

打卡指南：未来工厂的“智慧大脑”

最后一站，我们来到“智慧中枢”！fabguard 智能过程监控软件，是英福康面向半导体未来工厂智能化、数字化需求的一个超强数据工具包。

在它的助力下，工厂内所有的流程设备、传感器与检测设施的各类数据都可被实时记录、传输、监测，并进行自动分析，不仅能为工厂建立起一个全面的故障检测机制，确保流程精准可靠，还能连通其他数据平台为半导体生产流程优化、工艺升级等提供科学的数据支持。想知道它是如何让工厂变得更聪明吗？快来一探究竟！

春意盎然的3月，

小福向您发出诚挚邀请，

期待与您在SEMICON CHINA

一起探索未来工厂的秘密~