高效、精确、简便的泄漏检测，不仅归功于高性能的检测仪器，还离不开仪器所配置的各种智能工具。今天，官微君就将用一篇文章，为您讲清楚英福康那些应用于氦气检漏操作，懂仪器、更懂你的实用工具们。

SMART-Spray氦气喷枪—— 智慧型全能帮手

SMART-Spray是英福康专为UL系列检漏仪设计的便携式、无线、无管氦气喷枪，有了它，氦气泄漏检测时使用软管搬运超大氦气瓶和反复手动调节喷雾量的操作都将成为过去。

单次充装氦气，可喷氦超过1000次的SMART-Spray，不仅简化了检测流程，提高了检测效率，还能够通过精确定位检查点所需的最低气体流量大大节省氦气用量和检测成本。

此外，其内配备的彩色照明显示屏，尤其适用于极限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的环境，或是有着许多测试点和潜在泄漏的复杂半导体的泄漏测试，让检漏操作更加灵活与简便。

I·BOOST信号处理滤波器—— 提速技能满分

依靠软件更新后的I·BOOST信号处理滤波器，英福康可通过加速泄漏率信号、缩短喷涂间隔时间，来帮助用户显著提升测试效率，尤其适用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。

更值得一提的是，I·BOOST的优势在复杂的半导体系统检漏应用中尤为突出。“极限泄漏率越低，测试周期通常就越长，而这正是 I·BOOST 的高灵敏度和省时的最大优势所在。”英福康总部产品经理马库斯-施万贝拉介绍说。

SPRAY-Check参考漏孔—— 不放过一处泄漏

SPRAY-Check是一种易于安装的参考漏孔，其以石英窗为基础，只对氦气和氢气等轻气体有渗透性。使用其辅助泄漏检测，不仅提高了安全性，还扩展了检测的功能，例如可在相关泄漏率范围内检查测量设置和测试方案，或是将其直接连接到生产系统中进行死区时间检查等。

“在使用氦气进行泄漏检测时，从喷射气体到检漏仪显示屏出现指示一般会有一段时间的间隔，用户可通过估算该时间，来明确划分出潜在的泄漏点。例如，若死锁时间过后显示屏没有任何指示，则说明没有泄漏。”马库斯-施万贝拉进一步解释说，“由于SPRAY-Check不受对工艺有害的气体（如水或氧气）的影响，因此它也可以安装在半导体系统中，或应用于极限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系统中。”

完美适配英福康UL系列检漏仪，

助力提升半导体生产效率与品质

SMART-Spray、I·BOOST 和 SPRAY-Check，适用于英福康UL系列的所有移动式氦气检漏仪（I·BOOST 仅限于最新一代UL3000 Fab/UL6000 Fab 系列使用）。

UL系列检漏仪，一直是英福康的王牌产品系列之一。UL6000 Fab，凭借着卓越的性能，被广泛应用于现代半导体工厂和具有超大腔室容积的涂层系统中，满足较大测试量的检漏需求。在所有测量范围内，它都能提供最快的响应时间和最短的测试时间。同时，其紧凑的设计，使其即使在狭小的空间内也能轻松操作。

UL3000 Fab 系列，也是专为半导体工厂的泄漏检测而开发。其具有灵活、机动、调试快速和灵敏度高等特点，完美匹配半导体行业用户对检测高效性和精准性的要求。此外，UL3000 Fab 的占地面积也很小，可以在狭窄的空间内轻松移动。

UL1000 Fab 系列，则在集成以上产品优势的同时，又兼具了经济性，广泛用于工业或半导体环境中的氦气真空泄漏测试，尤其适用于较小的真空室。

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