随着生产工艺的不断发展,电子工业对环境及其配套工程的要求越来越严格,其产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度,因此对洁净技术的要求也越来越高。
空调系统作为电子厂房中重要环节,不仅需要稳定控制室内温度、湿度、洁净度等,还需控制电子厂净化车间内的排风和换气,保证24小时不间断运行稳定可靠,是电子厂房实现洁净环境要求的重要保障。
多年来,欧博针对不同的产品,不同的工厂规模,不同的工艺区域,推出了多元化的空调解决方案。
一、大型微电子净化车间空调方案
为保证电子、光电子产品的质量和高成品率,微电子行业对生产环境的空气洁净度、温度、湿度、静电、压差等方面要求极高。微电子行业洁净室面积大,洁净度特别高,环境控制要求高,而且工艺更新快。集成电路、平板显示器工厂生产车间庞大,空调通风量往往几百万甚至上千万m3/h,能耗极大。气载化学污染物对集成电路生产的影响,比空气中悬浮物要广泛和复杂的多。因此微电子行业的洁净空调系统,不光要去除颗粒污染物,还要去除化学污染物。
MAU+DC+FFU
由于微电子净化空调的高能耗,新建大规模微电子厂房,如集成电路(IC)、液晶显示器(LCD)及薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等洁净厂房通常采用更加节能的MAU+DC+FFU系统方案;新风机组(MAU)负责去除新风中的大颗粒及化学污染物,同时承担系统内全部湿负荷;干盘管(DC)不负责除湿,仅承担室内的部分显热负荷。
#新风处理机组(MAU)#
风量范围5000-250000CMH
特点:
内部平整,适合净化;
高强度箱体,安全运行不变形;
双极喷淋设计,去除部分化学污染物,减轻化学过滤器负荷,同时实现调温、调湿的作用;
#干盘管(DC)#
风量范围:400-50000CMH
特点:
机械式胀管,翅片和铜管连接紧密,高效开窗式肋片,换热效果好;
针对中温冷水(>14℃)专业设计换热回路;
肋片间距大,空气压降小,不影响FFU性能;
二、中小型电子净化车间空调方案
印刷电路板(PCB)的生产、电子产品的装配等净化车间,通常规模相对较小,净化空调可采用MAU+DC+FFU系统,也可采用集中式或集中式+分散式结合使用的空调系统。
#组合式空气处理机组(AHU)#
型号系列:ZKW
风量范围:2000-100000CMH
特点:
内部平整,适合净化;
内置框架,高强度箱体,安全运行不变形;
#螺杆式冷水机组#
适合中等规模净化车间使用
型号系列:SL-LG
冷量范围:420~2315KW
特点:新一代高性能半封闭双螺杆压缩机,高效节能,稳定可靠;
#风冷模块冷(热)水机组#
适合小规模净化车间使用
型号系列:FLM
冷量范围:66-1040KW
特点:
模块化组合,多级能量调节,控温更精确;
后备运转功能,单个系统故障不影响整机使用;
独立化霜技术,除霜时制热不停机;
名牌压缩机,高效壳管式换热器,性能稳定,持续稳定为净化空调提供高品位冷水。
#风冷净化式空调机组#
适合分散式系统、单个小面积净化车间使用
型号系列:FL
风量范围:2500-50000CMH
特点:
系统简单,自带独立冷源,响应迅速;
独立式系统,安装灵活、维护简单;
集成智能化控制,一键开关机;
标配Rs485通讯接口,方便集中控制。
三、特殊应用常年制冷
电子净化车间由于维护结构保温性能好,功能分区多,车间内设备发热量大,通常处于厂房中部的房间,即使在春秋季甚至冬季,也需要制冷降温。
#常年制冷型风冷模块冷水机组#
四、控制系统
生产环境系统的自动化控制水平将直接影响生产环境的品质及状态参数。保证控制系统的可靠运行显得尤为重要。欧博可根据用户不同的空调系统,分别提供不同的成套控制方案。
#冷水机房控制系统#
#净化空调控制系统#
工程展示