严格的产品质量要求需要在洁净或超净室内进行生产。即使是空气中最小的杂质也会对生产流程造成不利影响，导致高报废率。该类生产环境下的空气补给几乎需要100%无尘无细菌，而风机对此起着重要作用。然而，风机要做的不应该仅仅只是“流通空气”，除了要求的空气动力性能外，尺寸紧湊、噪声低、洁净室适用材料、智能控制、连网能力和24/7节能运行等都属于关键标准。

EC离心风机，

让洁净室节能高效地运行

洁净室对其通风系统有特殊要求，包括充足的空气流量和压力、精确的温度和湿度调控以及始终如一的空气质量(图1)，不管空气流通方式或房间尺寸如何均同样适用(图2)。可以通过风机过滤单元（FFU）实现这些要求，该单元将过滤系统与风机相结合，采用吸顶式安装，特别是在大型洁净室中。

图1：洁净室通风有2种气流系统：紊流(左)和层流(右)

在洁净室使用FFU是补给洁净空气最经济的方法之一。FFU的核心极其紧湊，扁平化设计的模块式内置风机只需要很小的安装空间。

图2：即插即用式风机模块，风机过滤单元FFU应用(左)，吸顶式FFU，内部装有空气颗粒物过滤器(右)

由于高空气置换率，洁净室中运行的空调和通风系统消耗能量最多，使能源效率日益成为一个重要问题。FFU生产商不仅需要高度紧湊的风机，还必须使其高效地运行。这就使我们的绿色科技EC技术的优势显得尤为突出，因为采用该技术的FFU能达到50%以上的效率，而对于传统风机技术这是不可能实现的。在噪声释放方面，绿色科技EC风机也能满足严格的要求，例如，RadiCal®离心风机的噪音水平比之前的市场标准低6-7dB(A)，可显著改善洁净室噪音水平和工人的舒适度。

电机和风机专家依必安派特提供一系列专门用于风机过滤单元并且满足所有相关强制性要求的EC离心风机。可选直径有310、355 和400mm，在250-300 Pa背压下空气动力性能可达1170、1750和2330m³/h。风机因其外转子设计极为紧湊，高度从190到275mm不等，尺寸扁平，方便与同样紧湊的FFU集成。

图3：采用节能型绿色科技EC技术的紧湊风机，用于风机过滤单元

智能控制，迎接物联网时代

因为EC电机效率极高，排放到流通空气中的废热很少，产生的环境热应力也较小，从而显著降低了对冷却系统的需求。

通过0-10V信号或数字RS-485界面控制EC风机，可以实现基于实际需求的运行，此应用非常适用于有几千台、甚至几万台FFU运行的洁净室。在这种情况下，使用Modbus 或ebmBUS进行联网极为切实有效(图4)，通过中央电脑控制界面可以平稳调整电机运行速度。由于EC电机在部分荷载运行中比基于其它控制理念的电机效率更高，因而经济性也更高。如果某台过滤器吸顶风机故障，可以通过增加邻近风机的速度进行补偿。这种冗余功能可以通过维持适当气流，实现高度的运行可靠性。

图4：支持Modbus和ebmBUS接口联网的EC风机，可使用直观的软件进行控制

多项测试，保证风机安全可靠

风机在洁净室内使用时，其叶轮通常由金属制成，关于在洁净室通风系统中使用塑料制品常常有所保留。塑料制品生产过程中的添加剂疑似会释放和威胁到洁净室生产制程有关的风险，依必安派特审慎分析了释气问题。

RadiCal®系列风机已经经过洁净室运行违禁物质严格测试，根据半导体行业ITRS 标准对这些物质进行了评估。依必安派特的RadiCal®叶轮成功通过了所有相关测试。测试结果显示，所使用的塑料无毒无害，潜在污染物的排放水平远远低于许可范围。现在，用户在洁净室应用中也能享受到塑料叶轮创新设计的所有好处。毕竟，塑料可以提供比金属多得多的设计选择(图5)。

图5：RadiCal系列离心风机，洁净厂房的不二之选

依必安派特将携通风及制冷解决方案亮相国际半导体行业盛事SEMICON CHINA，届时现场将有产品解说及演示，欢迎前来揭秘更多新科技！

3月20-22日

上海新国际博览中心

T2馆2155号展台